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高端多通道纳米激光干涉仪研发取得突破

发布时间:2022-01-29 09:12:41 信息来源:专项处

高端多通道纳米激光干涉仪是精密计量、超精加工的标准测量仪器,主要应用于高档数控机床等高端装备的定位精度检测,市场长期被国外企业垄断。在省重大科技专项支持下,成都工具研究所有限公司和四川大学开展联合攻关,在传统的单通道测量激光干涉仪基础上,突破高精度激光稳频、电子细分及多通道干涉镜组的测试胶合等关键技术,研制了具有完全自主知识产权的多通道纳米激光干涉仪。该产品主要技术指标达到国内领先、国际先进水平,填补了国内空白,市场应用前景广阔。

 
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